Faktor apa yang mempengaruhi ketepatan rel linier presisi tinggi?
Rel linier presisi tinggi(usually used in semiconductor manufacturing, precision testing equipment, high-end machine tools and other scenarios, the accuracy level of C5 and above, repeat positioning accuracy of<=± 0.005mm) of the accuracy of the strict constraints by the factors of multiple links, and its impact on the factors than the ordinary linear guide is more complex and sensitive, can be divided into the following categories:
Pertama, inti dari rantai manufaktur faktor yang mempengaruhi
1. Bahan dan proses perlakuan panas
Keseragaman material:
Badan pemandu yang sebagian besar menggunakan baja bantalan krom karbon tinggi (seperti suj2) atau bahan keramik, jika material adanya internal dari longgar, pemisahan atau inklusi non-logam (ukuran> 5μm yang dapat mempengaruhi), akan menyebabkan distribusi yang tidak merata dari stres yang ditetapkan, yang pada gilirannya, dalam gilirannya dalam jangka panjang, seperti halnya. rusak.
Akurasi Perlakuan Panas:
Jika suhu tidak dikontrol dengan benar selama proses pengerasan (seperti fluktuasi laju pemanasan ± 5 derajat), itu akan menyebabkan kekerasan yang tidak merata dari permukaan rel panduan (HRC58-62 dan penyimpangan kurang dari atau sama dengan 1 jam), perbedaan resistensi keausan lokal akan menyebabkan abrasi yang tidak merata dan kesalahan akurasi cumulative akurasi; Dan tempering tidak cukup akan menjadi tegangan internal residual, menghasilkan sejumlah kecil deformasi rel panduan dari waktu ke waktu (seperti deformasi panjang setiap meter tahun ＞ 0,002mm yang mempengaruhi akurasi) . 0.002 mm deformasi tahunan per meter akan mempengaruhi akurasi).
2. Proses pemesinan presisi
Presisi mikro penampang kereta api:
Panduan Rail Raceway Radius toleransi kelengkungan perlu dikontrol pada ± 0,001mm (panduan biasa untuk ± 0,01mm), jika deviasinya terlalu besar akan menyebabkan bola dan offset titik kontak balap, menghasilkan torsi tambahan, mempengaruhi operasi kelurusan; Sisi panduan bidang datum membutuhkan kurang dari atau sama dengan 0,002mm/100mm (panduan biasa untuk kurang dari atau sama dengan 0,01mm/100mm), jika tidak, instalasi tidak dapat dipasang, panduan tersebut tidak dapat digunakan {{6} mm), jika tidak, instalasi tidak dapat menjamin akurasi posisi melalui permukaan referensi.
Stabilitas proses penggilingan:
The final processing of precision guideway relies on ultra-precision grinding (grinding wheel speed>=15000r/min), if the grinding wheel wear is not uniform (such as wear per hour ＞0.002mm), the fluctuation of the feed (± 0.001mm or less is qualified), it will lead to the appearance of the surface of the guideway with the℃of corrugation (requirement<=0.1μm/25mm), yang secara langsung mempengaruhi kelancaran operasi slider.
3. Rakitan dan akurasi pasangan
Panduan Presisi Rel biasanya digunakan proses penggilingan pasangan "kereta api", jika pasangan toleransi diameter bola baja (persyaratan kurang dari atau sama dengan ± 0,0005mm) tidak konsisten, deviasi positional dari saluran yang bersirkulasi dalam slider (kurang dari atau sama dengan ± 0,002mm), akan menyebabkan gaya yang tidak ramping pada balok baja selama operasi, hasilnya, hasilnya, hasilnya, hasilnya, hasilnya, pada operasi. (Amplitudo kurang dari atau sama dengan 0,001mm), mengurangi pengulangan akurasi penentuan posisi.
Kedua, faktor instalasi dan commissioning
1. Instalasi presisi datum:
Pemasangan dasar kerataan panduan panduan harus kurang dari atau sama dengan 0,005mm/100mm (adegan biasa kurang dari atau sama dengan 0,02mm/100mm), jika ada benjolan atau depresi, akan menyebabkan deformasi panduan deformasi kereta api (deformasi jumlah per meter> 0,003mm yang mempengaruhi akurasi); Kekasaran permukaan dasar perlu kurang dari atau sama dengan RA0.8μm, jika tidak baut akan dikencangkan karena kontak yang tidak merata dengan tekanan lokal. Kalau tidak, ketika baut dikencangkan, stres lokal akan dihasilkan karena kontak yang tidak rata.
Saat menyambung beberapa rel pemandu, perbedaan tinggi (kurang dari atau sama dengan 0,002mm) dan misalignment (kurang dari atau sama dengan 0,003mm) pada sambungan perlu dikontrol secara ketat, jika tidak slider akan memiliki dampak ketika melewati sendi, menghasilkan fluktuasi instan dalam akurasi.
2. Metode pengikat instalasi:
Preload baut yang tidak rata (kontrol kunci pas torsi yang disarankan, kesalahan kurang dari atau sama dengan ± 5%) akan menyebabkan lentur lokal rel panduan; Jika jarak baut terlalu besar (lebih dari 300mm), itu dapat dilonggarkan karena getaran setelah jangka waktu yang lama, dan kesalahan penentuan posisi akan diakumulasikan.
Panduan dan dasar dari cara tetap (seperti pengikat berbantuan perekat) jika ketebalan lapisan perekat tidak seragam (penyimpangan> 0,002mm), akan menyebabkan penuntutan panduan kemiringan, yang mempengaruhi kelurusan.
3. Penyesuaian paralelisme dan koaksialitas:
Ketika panduan ganda dipasang, kesalahan paralelisme harus kurang dari atau sama dengan 0,003mm/500mm (adegan umum kurang dari atau sama dengan 0,01mm/500mm), jika tidak gaya pada kedua ujung slider tidak seimbang, menghasilkan torsi gesekan tambahan, yang dihasilkan dalam menjalankan track offset.
Deviasi koaksialitas (kurang dari atau sama dengan 0,005mm) dengan sistem drive (misalnya sekrup bola), jika terlampaui, akan menghasilkan gaya lateral karena arah offset gaya drive, menghancurkan akurasi gerak jalan pedoman.
Ketiga, penggunaan faktor lingkungan
1. Fluktuasi suhu:
Panduan presisi sangat sensitif terhadap perubahan suhu, fluktuasi suhu sekitar 1 derajat, panduan (baja) akan disebabkan oleh ekspansi termal dan kontraksi panjang perubahan 0,011mm / m (koefisien ekspansi linier 11 × 10-⁶ derajat), jika peralatan tidak memiliki sistem kompensasi suhu, itu akan langsung ke kesalahan penentuan posisi. Misalnya, dalam litografi semikonduktor, suhu sekitar perlu dikontrol pada 23 ± 0,1 derajat untuk menghindari deformasi termal panduan.
2. Getaran dan Guncangan:
Getaran eksternal (seperti akselerasi getaran tanah> 0,01g) akan menyebabkan panduan dan slider antara mikro-melesat (amplitudo> 0,0005mm), mengurangi akurasi penentuan posisi statis; Guncangan yang sering terjadi (seperti fluktuasi gaya pemotongan dalam peralatan pemesinan) akan mempercepat keausan bola baja dan balap, sehingga keakuratan penggunaan waktu dengan penurunan yang cepat.
3. Kebersihan dan Pelumasan:
Debu di lingkungan (ukuran partikel> 0,5μm) ke dalam balap, akan menyebabkan bola baja dan keausan gerinda, penurunan jangka pendek dalam presisi; Kemurnian minyak (partikel pengotor kurang dari atau sama dengan 0,001mm) dan pengisian (setiap 100 km operasi untuk mengisi kembali jumlah waktu) tidak cukup, akan memperburuk gesekan, menghasilkan penyimpangan presisi siklus.
Keempat, materi dan penggunaan faktor kerugian
1. Stabilitas material:
Insufficient aging treatment of guideway material (e.g. residual stress >50MPa) will produce slow deformation (annual deformation >0,002mm/m) Karena pelepasan stres dalam penggunaan jangka panjang, menghasilkan penyimpangan presisi.
2. Kenakan dan kelelahan:
Bahkan dalam kondisi kerja yang ideal, tekanan kontak antara bola baja dan balap (hingga 3000MPA atau lebih) akan menyebabkan keausan kecil, dan setelah operasi akumulatif 100 km, akurasi penentuan posisi berulang dapat berkurang 0,001-0,002mm; Jika ada off-loading (Load Offset Center ＞ 5mm), keausan akan diperburuk, dan kecepatan penurunan presisi akan meningkat sebesar 3-5 kali.
Singkatnya, keakuratan Linier presisi tinggi Rails adalah hasil dari sinergi dari seluruh rantai "akurasi manufaktur - kontrol instalasi - manajemen lingkungan - penggunaan dan pemeliharaan", dan setiap penyimpangan kecil dalam tautan apa pun dapat memperbesar kesalahan akurasi akhir, sehingga perlu untuk melaksanakan seluruh proses kontrol dalam desain dan aplikasi.
Hubungi kami
📞 Telepon:+86-8613116375959
📧 E-mail:741097243@qq.com
🌐 Situs web resmi:https://www.automation-js.com/
